本申請(qǐng)涉及光伏材料加工，具體而言，涉及一種加熱腔體及加工設(shè)備。
背景技術(shù)：
1、現(xiàn)有的在半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的加熱腔體的加熱效率有待提高。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請(qǐng)第一方面提供一種加熱腔體。該加熱腔體用于加熱載具上的硅片。加熱腔體包括多個(gè)腔壁，多個(gè)腔壁圍合形成與載具相適配的容納空間，多個(gè)腔壁中的至少部分腔壁用于安裝發(fā)熱件發(fā)熱，用于安裝發(fā)熱件的腔壁與載具的距離大于等于10mm且小于等于150mm。
2、上述的加熱腔體中，多個(gè)腔壁圍合形成與載具相適配的容納空間，由此有利于減少加熱腔體內(nèi)的無效空間，從而減少熱量的損失。此外，發(fā)熱件可直接安裝在腔壁上，使得發(fā)熱件的熱量可直接由腔壁傳導(dǎo)至載具和硅片，由此減少了熱傳導(dǎo)路徑中的中間介質(zhì)，可以最大程度地提高熱傳遞的效率。進(jìn)一步地，用于安裝發(fā)熱件的腔壁與載具的距離大于等于10mm且小于等于150mm，由此，在確保加熱腔體的熱量能夠有效傳遞給硅片的同時(shí)，還有利于避免熱量的過度散失。具體地，如果用于安裝發(fā)熱件的腔壁與載具的距離過近，可能導(dǎo)致硅片局部過熱；如果用于安裝發(fā)熱件的腔壁與載具的距離過遠(yuǎn)，熱傳遞效率則會(huì)降低。因此，上述的距離范圍有助于在熱傳導(dǎo)和熱散失之間找到最佳平衡點(diǎn)。
3、綜上，上述的加熱腔體，通過優(yōu)化容納空間的形狀、合理布置發(fā)熱件、控制腔壁與載具之間的距離，有利于提高加熱效率。
4、一些實(shí)施例中，多個(gè)腔壁圍合形成無底的矩形腔體；所述無底的矩形腔體包括依次連接的多個(gè)分段，每個(gè)所述分段均包括呈倒u形結(jié)構(gòu)的部分，所述倒u形結(jié)構(gòu)包括頂壁、第一側(cè)壁及第二側(cè)壁，所述第一側(cè)壁與所述第二側(cè)壁相對(duì)且間隔，所述頂壁與第一側(cè)壁及第二側(cè)壁均連接，每個(gè)所述分段由金屬鑄造而成，相鄰所述分段的所述頂壁對(duì)應(yīng)焊接，相鄰所述分段的所述第一側(cè)壁對(duì)應(yīng)焊接，相鄰所述分段的所述第二側(cè)壁對(duì)應(yīng)焊接。
5、一些實(shí)施例中，多個(gè)分段中，位于兩端的分段其中之一還包括第三側(cè)壁，第三側(cè)壁連接其所屬的分段的倒u形結(jié)構(gòu)，并形成有貫穿無底的矩形腔體的抽氣口。
6、一些實(shí)施例中，無底的矩形腔體包括內(nèi)腔體、外腔體及加強(qiáng)筋，外腔體位于內(nèi)腔體之外，加強(qiáng)筋位于內(nèi)腔體與外腔體之間，并與內(nèi)腔體和外腔體連接。
7、一些實(shí)施例中，加強(qiáng)筋與內(nèi)腔體一體鑄造成型，或，加強(qiáng)筋與外腔體一體鑄造成型。
8、一些實(shí)施例中，每個(gè)加強(qiáng)筋沿?zé)o底的矩形腔體的長(zhǎng)度方向延伸，每個(gè)分段均包括內(nèi)腔體、外腔體以及間隔設(shè)置在內(nèi)腔體與外腔體之間的多個(gè)加強(qiáng)筋，且相鄰分段中的內(nèi)腔體、外腔體、加強(qiáng)筋分別對(duì)應(yīng)焊接連接。
9、一些實(shí)施例中，加熱腔體還包括噴淋進(jìn)氣裝置，噴淋進(jìn)氣裝置環(huán)繞加熱腔體的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置。
10、一些實(shí)施例中，內(nèi)腔體與外腔體之間為真空腔。
11、一些實(shí)施例中，內(nèi)腔體與外腔體之間為空氣腔。
12、一些實(shí)施例中，內(nèi)腔體與外腔體之間填充有隔熱材料。
13、一些實(shí)施例中，加熱腔體還包括發(fā)熱件，發(fā)熱件位于內(nèi)腔體背離外腔體的一側(cè)，和/或，發(fā)熱件位于外腔體背離內(nèi)腔體的一側(cè)。
14、一些實(shí)施例中，加熱腔體還包括電偶，電偶位于內(nèi)腔體背離外腔體的一側(cè)，和/或，電偶位于外腔體背離內(nèi)腔體的一側(cè)。
15、一些實(shí)施例中，加熱腔體還包括冷卻流道，冷卻流道位于外腔體背離內(nèi)腔體的一側(cè)，和/或，冷卻流道位于內(nèi)腔體與外腔體之間。
16、一些實(shí)施例中，加熱腔體還包括保溫層，保溫層位于外腔體背離內(nèi)腔體的一側(cè)。
17、一些實(shí)施例中，加熱腔體還包括隔熱保護(hù)板，隔熱保護(hù)板位于外腔體背離內(nèi)腔體的一側(cè)。
18、本申請(qǐng)第二方面提供一種加工設(shè)備。該加工設(shè)備包括本申請(qǐng)第二方面的加熱腔體以及爐門，爐門能夠封堵加熱腔體的容納空間并與加熱腔體形成真空腔，真空腔的氣壓低于大氣壓。
19、本申請(qǐng)第二方面的加工設(shè)備至少具有與本申請(qǐng)第一方面的加熱腔體相同的優(yōu)點(diǎn)，不再贅述。
1.一種加熱腔體，用于加熱載具上的硅片，其特征在于，所述加熱腔體包括多個(gè)腔壁，所述多個(gè)腔壁圍合形成與所述載具相適配的容納空間，所述多個(gè)腔壁中的至少部分腔壁用于安裝發(fā)熱件發(fā)熱，用于安裝所述發(fā)熱件的所述腔壁與所述載具的距離大于等于10mm且小于等于150mm。
2.如權(quán)利要求1所述的加熱腔體，其特征在于，
3.如權(quán)利要求2所述的加熱腔體，其特征在于，
4.如權(quán)利要求2所述的加熱腔體，其特征在于，
5.如權(quán)利要求4所述的加熱腔體，其特征在于，
6.如權(quán)利要求4所述的加熱腔體，其特征在于，
7.如權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的加熱腔體，其特征在于，
8.如權(quán)利要求4至6中任意一項(xiàng)所述的加熱腔體，其特征在于，
9.如權(quán)利要求4至6中任意一項(xiàng)所述的加熱腔體，其特征在于，
10.一種加工設(shè)備，其特征在于，包括：