本發(fā)明屬于真空泵，具體涉及一種羅茨泵自適應(yīng)封嚴(yán)裝置及羅茨泵。
背景技術(shù)：
1、羅茨真空泵的轉(zhuǎn)子兩軸線互相平行，轉(zhuǎn)子由葉輪與軸組合而成，葉輪之間、葉輪與機(jī)殼及軸承板之間具有微小間隙，以避免相互接觸。間隙泄露，特別是多級(jí)轉(zhuǎn)子羅茨泵轉(zhuǎn)軸與殼體之間發(fā)生泄漏時(shí)，對(duì)羅茨真空泵的性能影響極大。隨著羅茨泵技術(shù)的不斷發(fā)展和完善，高性能羅茨泵轉(zhuǎn)軸動(dòng)封嚴(yán)問題逐漸成為了制約羅茨泵性能的瓶頸問題。
2、目前多級(jí)羅茨泵各級(jí)轉(zhuǎn)子之間一般是通過在轉(zhuǎn)軸與殼體之間使用封嚴(yán)環(huán)進(jìn)行封嚴(yán)，轉(zhuǎn)軸高速旋轉(zhuǎn)時(shí)發(fā)生的微量形變會(huì)使封嚴(yán)環(huán)極易磨損，封嚴(yán)環(huán)磨損后發(fā)生的級(jí)間泄漏對(duì)羅茨泵的性能影響巨大。
3、針對(duì)上述問題，有必要提出一種設(shè)計(jì)合理且有效解決上述問題的羅茨泵自適應(yīng)封嚴(yán)裝置及羅茨泵。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提供一種羅茨泵自適應(yīng)封嚴(yán)裝置及羅茨泵。
2、本發(fā)明的一方面提供一種羅茨泵自適應(yīng)封嚴(yán)裝置，套設(shè)于羅茨泵的轉(zhuǎn)軸與殼體之間，用于羅茨泵的轉(zhuǎn)軸與殼體之間的密封，所述裝置包括：
3、兩個(gè)固定擋板，其為環(huán)形結(jié)構(gòu)，穿設(shè)于所述轉(zhuǎn)軸，在所述轉(zhuǎn)軸的軸向上相對(duì)設(shè)置；
4、柔性密封結(jié)構(gòu)，夾設(shè)于兩個(gè)所述固定擋板之間，所述柔性密封結(jié)構(gòu)設(shè)置有貫穿其厚度的多個(gè)柔性間隙，以使所述柔性密封結(jié)構(gòu)朝向所述轉(zhuǎn)軸的一端形成多個(gè)懸臂，每個(gè)所述懸臂的端部與所述轉(zhuǎn)軸之間具有預(yù)設(shè)間隙；其中，
5、所述柔性密封結(jié)構(gòu)能夠在所述轉(zhuǎn)軸發(fā)生變形時(shí)跟隨所述轉(zhuǎn)軸的形變發(fā)生自適應(yīng)形變。
6、可選的，每個(gè)所述懸臂的端部具有與轉(zhuǎn)軸外壁曲面平行的推力曲面。
7、可選的，所述柔性密封結(jié)構(gòu)包括低壓密封層以及與所述低壓密封層疊加設(shè)置的至少一個(gè)高壓密封層；其中，
8、所述高壓密封層中所述推力曲面的寬度與所述懸臂的厚度一致。
9、可選的，所述低壓密封層中所述懸臂沿轉(zhuǎn)軸軸向朝背離所述高壓密封層的一側(cè)延長(zhǎng)預(yù)設(shè)長(zhǎng)度，以使所述低壓密封層中的所述推力曲面與所述轉(zhuǎn)軸之間形成預(yù)設(shè)長(zhǎng)度的配合間隙。
10、可選的，所述高壓密封層中所述推力曲面到轉(zhuǎn)軸外壁曲面的距離大于所述低壓密封層中所述推力曲面到轉(zhuǎn)軸壁面的距離。
11、可選的，所述高壓密封層的所述懸臂沿轉(zhuǎn)軸的周向分布于所述低壓密封層中相鄰兩個(gè)所述懸臂之間的所述柔性間隙。
12、可選的，所述高壓密封層的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述高壓密封層沿轉(zhuǎn)軸軸向方向依次疊加設(shè)置；其中，
13、相鄰兩個(gè)所述高壓密封層的所述柔性間隙相互錯(cuò)開分布。
14、可選的，多個(gè)所述柔性間隙自所述懸臂的端部向所述柔性密封結(jié)構(gòu)的徑向外側(cè)的方向先正徑向方向延伸后傾斜延伸，且傾斜方向與所述轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反。
15、可選的，所述固定擋板和所述柔性密封結(jié)構(gòu)沿其周向設(shè)置有多個(gè)固定孔；
16、所述裝置還包括多個(gè)緊固件，每個(gè)所述緊固件穿過與其對(duì)應(yīng)的所述固定孔，以將所述固定擋板和所述柔性密封結(jié)構(gòu)進(jìn)行固定連接。
17、可選的，所述裝置還包括墊片，所述墊片夾設(shè)于所述固定擋板和所述柔性密封結(jié)構(gòu)之間。
18、可選的，所述墊片周向內(nèi)壁與所述轉(zhuǎn)軸外壁之間的間隙大于所述懸臂的端部與所述轉(zhuǎn)軸之間的預(yù)設(shè)間隙。
19、可選的，所述柔性密封結(jié)構(gòu)采用鎳基或鈷基高溫合金。
20、本發(fā)明的另一方面提供一種羅茨泵，包括前文所述的羅茨泵自適應(yīng)封嚴(yán)裝置。
21、本發(fā)明的羅茨泵自適應(yīng)封嚴(yán)裝置套設(shè)于羅茨泵轉(zhuǎn)軸，用于羅茨泵的轉(zhuǎn)軸與殼體之間的密封，尤其用于多級(jí)羅茨泵的多級(jí)腔室之間殼體與轉(zhuǎn)軸之間的密封。該封嚴(yán)裝置的柔性密封結(jié)構(gòu)設(shè)置有貫穿其厚度的多個(gè)柔性間隙，以使柔性密封結(jié)構(gòu)朝向轉(zhuǎn)軸的一端形成多個(gè)懸臂，當(dāng)轉(zhuǎn)軸發(fā)生徑向跳動(dòng)、離心變形或熱膨脹變形時(shí)，由于柔性間隙的存在，柔性密封結(jié)構(gòu)能夠跟隨轉(zhuǎn)軸的形變發(fā)生自適應(yīng)形變；即使轉(zhuǎn)軸與柔性密封結(jié)構(gòu)的懸臂發(fā)生接觸，柔性密封結(jié)構(gòu)的柔性設(shè)計(jì)可以使轉(zhuǎn)軸在柔性密封結(jié)構(gòu)不被破壞的情況下繼續(xù)高效工作；該封嚴(yán)裝置可以減小羅茨泵轉(zhuǎn)軸與殼體之間的級(jí)間泄露量，提高羅茨泵的有效抽速，延長(zhǎng)轉(zhuǎn)軸的使用壽命，且該柔性密封結(jié)構(gòu)自適應(yīng)性強(qiáng)，不易磨損或被破壞，從而可提高羅茨泵的整體壽命，延長(zhǎng)其維修周期等。
1.一種羅茨泵自適應(yīng)封嚴(yán)裝置，套設(shè)于羅茨泵的轉(zhuǎn)軸與殼體之間，用于羅茨泵的轉(zhuǎn)軸與殼體之間的密封，其特征在于，所述裝置包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，每個(gè)所述懸臂的端部具有與轉(zhuǎn)軸外壁曲面平行的推力曲面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的裝置，其特征在于，所述柔性密封結(jié)構(gòu)包括低壓密封層以及與所述低壓密封層疊加設(shè)置的至少一個(gè)高壓密封層；其中，
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述低壓密封層中所述懸臂沿轉(zhuǎn)軸軸向朝背離所述高壓密封層的一側(cè)延長(zhǎng)預(yù)設(shè)長(zhǎng)度，以使所述低壓密封層中的所述推力曲面與所述轉(zhuǎn)軸之間形成預(yù)設(shè)長(zhǎng)度的配合間隙。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述高壓密封層中所述推力曲面到轉(zhuǎn)軸外壁曲面的距離大于所述低壓密封層中所述推力曲面到轉(zhuǎn)軸壁面的距離。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述高壓密封層的所述懸臂沿轉(zhuǎn)軸的周向分布于所述低壓密封層中相鄰兩個(gè)所述懸臂之間的所述柔性間隙。
7.根據(jù)權(quán)利要求3至6任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述高壓密封層的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)所述高壓密封層沿轉(zhuǎn)軸軸向方向依次疊加設(shè)置；其中，
8.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，多個(gè)所述柔性間隙自所述懸臂的端部向所述柔性密封結(jié)構(gòu)的徑向外側(cè)的方向先正徑向方向延伸后傾斜延伸，且傾斜方向與所述轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)方向相反。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述固定擋板和所述柔性密封結(jié)構(gòu)沿其周向設(shè)置有多個(gè)固定孔；
10.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括墊片，所述墊片夾設(shè)于所述固定擋板和所述柔性密封結(jié)構(gòu)之間。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的裝置，其特征在于，所述墊片周向內(nèi)壁與所述轉(zhuǎn)軸外壁之間的間隙大于所述懸臂的端部與所述轉(zhuǎn)軸之間的預(yù)設(shè)間隙。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的裝置，其特征在于，所述柔性密封結(jié)構(gòu)采用鎳基或鈷基高溫合金。
13.一種羅茨泵，其特征在于，包括權(quán)利要求1至12任一項(xiàng)所述的羅茨泵自適應(yīng)封嚴(yán)裝置。